Imec demonstrates significant performance gains utilizing backside 3D SOC interconnects

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;Van Der Plas, Geert ;Beyne, Eric
Référence Semiconductor silicon, 43, 1, page (22-25)
Publication Publié, 2022-03-18

Article révisé par les pairs

Titre:	Imec demonstrates significant performance gains utilizing backside 3D SOC interconnects
Auteur:	Milojevic, Dragomir; Van Der Plas, Geert; Beyne, Eric
Informations sur la publication:	Semiconductor silicon, 43, 1, page (22-25)
Statut de publication:	Publié, 2022-03-18
Sujet CREF:	Généralités
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:2050-7798
	info:scp/85132540580

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