Backside PDN and 2.5D MIMCAP to Double Boost 2D and 3D ICs IR-Drop beyond 2nm Node

;Stucchi, Michele ;Jourdain, Anne ;Miyaguchi, K.;Schuddinck, Pieter ;Woeltgens, P.;Lin, Hesheng ;Kakarla, N.;Veloso, Anabela ;Milojevic, Dragomir

;Zografos, Odysseas ;Weckx, Pieter ;Hellings, Geert ;Van Der Plas, Geert ;Ryckaert, Julien ;Beyne, Eric
Référence Digest of technical papers - Symposium on VLSI Technology, 2022-June, page (429-430)
Publication Publié, 2022-07-22

Article révisé par les pairs

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