Titre:
  • Backside PDN and 2.5D MIMCAP to Double Boost 2D and 3D ICs IR-Drop beyond 2nm Node
Auteur:Chen, Rongmei; Sisto, Giuliano; Stucchi, Michele; Jourdain, Anne; Miyaguchi, K.; Schuddinck, Pieter; Woeltgens, P.; Lin, Hesheng; Kakarla, N.; Veloso, Anabela; Milojevic, Dragomir; Zografos, Odysseas; Weckx, Pieter; Hellings, Geert; Van Der Plas, Geert; Ryckaert, Julien; Beyne, Eric
Informations sur la publication:Digest of technical papers - Symposium on VLSI Technology, 2022-June, page (429-430)
Statut de publication:Publié, 2022-07-22
Sujet CREF:Electronique et électrotechnique
Note générale:SCOPUS: cp.p
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0743-1562
info:doi/10.1109/VLSITechnologyandCir46769.2022.9830328
info:scp/85135228027