Titre:
  • Design and Optimization of SRAM Macro and Logic Using Backside Interconnects at 2nm node
Auteur:Chen, Rongmei; Sisto, Giuliano; Jourdain, Anne; Hiblot, Gaspard; Stucchi, Michele; Kakarla, N.; Chehab, Bilal; Salahuddin, Shairfe Muhammad; Schleicher, Filip; Veloso, Anabela; Hellings, Geert; Weckx, Pieter; Milojevic, Dragomir; Van Der Plas, Geert; Ryckaert, Julien; Beyne, Eric
Informations sur la publication:Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM, 2021-December, page (22.4.1-22.4.4)
Statut de publication:Publié, 2021-08-01
Sujet CREF:Chimie des solides
Métallurgie
Physique de l'état solide
Electronique et électrotechnique
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
Physique de l'état condense [supraconducteur]
Note générale:SCOPUS: cp.p
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0163-1918
info:doi/10.1109/IEDM19574.2021.9720528
info:scp/85126958828