Design and Optimization of SRAM Macro and Logic Using Backside Interconnects at 2nm node

Chen, Rongmei; Sisto, Giuliano; Jourdain, Anne; Hiblot, Gaspard; Stucchi, Michele; Kakarla, N.; Chehab, Bilal; Salahuddin, Shairfe Muhammad; Schleicher, Filip; Veloso, Anabela; Hellings, Geert; Weckx, Pieter; Milojevic, Dragomir; Van Der Plas, Geert; Ryckaert, Julien; Beyne, Eric

doi:doi/10.1109/IEDM19574.2021.9720528

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Design and Optimization of SRAM Macro and Logic Using Backside Interconnects at 2nm node

par Chen, Rongmei ;Sisto, Giuliano

;Jourdain, Anne ;Hiblot, Gaspard ;Stucchi, Michele ;Kakarla, N.;Chehab, Bilal ;Salahuddin, Shairfe Muhammad ;Schleicher, Filip ;Veloso, Anabela ;Hellings, Geert ;Weckx, Pieter ;Milojevic, Dragomir

;Van Der Plas, Geert ;Ryckaert, Julien ;Beyne, Eric
Référence Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM, 2021-December, page (22.4.1-22.4.4)
Publication Publié, 2021-08-01

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