Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces

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Référence Applied surface science, 609, 155317
Publication Publié, 2022-10-12

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Titre:	Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces
Auteur:	Bure, T.R.; Renault, Olivier; Nolot, Emmanuel; Robert-Goumet, Christine; Pauly, Nicolas
Informations sur la publication:	Applied surface science, 609, 155317
Statut de publication:	Publié, 2022-10-12
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Français
Identificateurs:	urn:issn:0169-4332

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