Titre:
  • Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces
Auteur:Bure, T.R.; Renault, Olivier; Nolot, Emmanuel; Robert-Goumet, Christine; Pauly, Nicolas
Informations sur la publication:Applied surface science, 609, 155317
Statut de publication:Publié, 2022-10-12
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Français
Identificateurs:urn:issn:0169-4332