Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces

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Référence Applied surface science, 609, 155317
Publication Publié, 2022-10-12

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Méthodes avancées en XPS et HAXPES pour la détermination des épaisseurs des matériaux high-k
par Bure, T.R. , Renault, Olivier , Nolot, Emmanuel , Robert-Goumet, Christine , Pauly, Nicolas
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Characterizing Critical Buried Interfaces by Inelastic Background Analysis using Lab-Scale Hard X-ray Spectroscopy
par Bure, T.R. , Robert-Goumet, Christine , Renault, Olivier , Nolot, Emmanuel , Pauly, Nicolas
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par Renault, Olivier , Deleuze, Pierre Marie , Courtin, J. , Bure, T.R. , Gauthier, N. , Nolot, Emmanuel , Robert-Goumet, Christine , Pauly, Nicolas , Martinez, Eugénie , Artyushkova, Kateryna
Publication 2022-01-01
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par Vanwelde, Marion , Hernalsteens, Cédric , Pauly, Nicolas
Publication 2024-02-15

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