par Bure, T.R.;Renault, Olivier;Nolot, Emmanuel;Robert-Goumet, Christine;Pauly, Nicolas
Référence Journées Nationales des Spectroscopies de Photoémission (JNSPE) (2022-04-11/2022-04-13: Dijon, France)
Publication Publié, 2022-04-11
Poster de conférence
Titre:
  • Méthodes avancées en XPS et HAXPES pour la détermination des épaisseurs des matériaux high-k
Auteur:Bure, T.R.; Renault, Olivier; Nolot, Emmanuel; Robert-Goumet, Christine; Pauly, Nicolas
Informations sur la publication:Journées Nationales des Spectroscopies de Photoémission (JNSPE) (2022-04-11/2022-04-13: Dijon, France)
Statut de publication:Publié, 2022-04-11
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Français