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Méthodes avancées en XPS et HAXPES pour la détermination des épaisseurs des matériaux high-k

par Bure, T.R.;Renault, Olivier ;Nolot, Emmanuel ;Robert-Goumet, Christine ;Pauly, Nicolas

Référence Journées Nationales des Spectroscopies de Photoémission (JNSPE) (2022-04-11/2022-04-13: Dijon, France)
Publication Publié, 2022-04-11

Poster de conférence

Détails

Titre:	Méthodes avancées en XPS et HAXPES pour la détermination des épaisseurs des matériaux high-k
Auteur:	Bure, T.R.; Renault, Olivier; Nolot, Emmanuel; Robert-Goumet, Christine; Pauly, Nicolas
Informations sur la publication:	Journées Nationales des Spectroscopies de Photoémission (JNSPE) (2022-04-11/2022-04-13: Dijon, France)
Statut de publication:	Publié, 2022-04-11
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Français

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