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Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces

par Bure, T.R.;Renault, Olivier ;Nolot, Emmanuel ;Robert-Goumet, Christine ;Pauly, Nicolas

Référence Applied surface science, 609, 155317
Publication Publié, 2022-10-12

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