Assessing advanced methods in XPS and HAXPES for determining the thicknesses of high-k oxide materials: From ultra-thin layers to deeply buried interfaces

Référence Applied surface science, 609, 155317
Publication Publié, 2022-10-12

Article révisé par les pairs

Méthodes avancées en XPS et HAXPES pour la détermination des épaisseurs des matériaux high-k
par Bure, T.R. , Renault, Olivier , Nolot, Emmanuel , Robert-Goumet, Christine , Pauly, Nicolas
Publication 2022-04-11
Characterizing Critical Buried Interfaces by Inelastic Background Analysis using Lab-Scale Hard X-ray Spectroscopy
par Bure, T.R. , Robert-Goumet, Christine , Renault, Olivier , Nolot, Emmanuel , Pauly, Nicolas
Publication 2021-01-25
New directions in the analysis of buried interfaces for device technology by hard X-ray photoemission
par Renault, Olivier , Deleuze, Pierre Marie , Courtin, J. , Bure, T.R. , Gauthier, N. , Nolot, Emmanuel , Robert-Goumet, Christine , Pauly, Nicolas , Martinez, Eugénie , Artyushkova, Kateryna
Publication 2022-01-01
Local inverse inelastic mean free path at interface
par Pauly, Nicolas
Publication 2022-10-12
Modeling and implementation of vertical excursion FFA in the Zgoubi ray-tracing code
par Vanwelde, Marion , Hernalsteens, Cédric , Pauly, Nicolas , Tesse, Robin
Publication 2022-11-18

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