Cost-performance optimization of fine-pitch W2W bonding: Functional system partitioning with heterogeneous FEOL/BEOL configurations

;Beyne, Eric ;Van Der Plas, Geert ;Wang, Jane J.Z.W ;Debacker, Peter
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 11328, 113280R
Publication Publié, 2020-11-01

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