Fine-pitch 3D system integration and advanced CMOS nodes: Technology and system design perspective

Milojevic, Dragomir; Sisto, Giuliano; Van Der Plas, Geert; Beyne, Eric

doi:doi/10.1117/12.2584532

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Fine-pitch 3D system integration and advanced CMOS nodes: Technology and system design perspective

par Milojevic, Dragomir

;Sisto, Giuliano

;Van Der Plas, Geert ;Beyne, Eric
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 11614, 116140H
Publication Publié, 2021-08-01

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Publication 2020-12-01

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