Efficient place and route enablement of 5-tracks standard- cells through EUV compatible N5 ruleset

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Référence Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability
Publication Publié, 2018-03-01

Publication dans des actes

Titre:	Efficient place and route enablement of 5-tracks standard- cells through EUV compatible N5 ruleset
Auteur:	Luca, Matti; Gerousis, Vassilios; Milojevic, Dragomir
Informations sur la publication:	Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability
Statut de publication:	Publié, 2018-03-01
Sujet CREF:	Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
Langue:	Anglais
Identificateurs:	info:doi/10.1117/12.2297336

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