Titre:
  • Efficient place and route enablement of 5-tracks standard- cells through EUV compatible N5 ruleset
Auteur:Luca, Matti; Gerousis, Vassilios; Milojevic, Dragomir
Informations sur la publication:SPIE
Statut de publication:A Paraître, 2018
Sujet CREF:Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
Langue:Français