Pillar-Based High-Yield Heterogeneous Integration of Lithium Niobate and Gallium Phosphide Thin Films

Vandekerckhove, Tom; Vanackere, Tom; De Witte, Jasper; Cuyvers, Stijn; Dos Reis, Luis Nuno; Billet, Maximilien; Roelkens, Gunther; Clemmen, Stéphane; Kuyken, Bart

doi:doi/10.1364/CLEO_SI.2023.STh4O.6

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Pillar-Based High-Yield Heterogeneous Integration of Lithium Niobate and Gallium Phosphide Thin Films

par Vandekerckhove, Tom

;Vanackere, Tom

;De Witte, Jasper ;Cuyvers, Stijn ;Dos Reis, Luis Nuno

;Billet, Maximilien

;Roelkens, Gunther ;Clemmen, Stéphane

;Kuyken, Bart
Référence conference on Laer and electro-optics, CLEO 2023 Technical Digest Series, CLEO: Science and Innovations 2023, Optica Publishing Group, page (STh4O.6)
Publication Publié, 2023-05-17

Publication dans des actes

Résumé :

Several established photonic platforms lack a nonzero Pockels and nonlinear coefficient. We developed a micro-transfer printing method to heterogeneously integrate thin-film lithium niobate and gallium phosphide with an experimentally shown transfer yield of near-unity.

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