Single source precursor vs. precursor mixture for N-rich plasma polymer deposition: Plasma diagnostics and thin film analyses

;Vandenabeele, Cédric R.;SNYDERS, Rony UMONS ;Girard-Lauriault, Pierre-Luc
Référence Plasma processes and polymers, 14, 11, page (1700030)
Publication Publié, 2017-11

Article révisé par les pairs

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