Titre:
  • Single source precursor vs. precursor mixture for N-rich plasma polymer deposition: Plasma diagnostics and thin film analyses
Auteur:Buddhadasa, Madhuwanthi; Vandenabeele, Cédric R.; SNYDERS, Rony UMONS; Girard-Lauriault, Pierre-Luc
Informations sur la publication:Plasma processes and polymers, 14, 11, page (1700030)
Statut de publication:Publié, 2017-11
Sujet CREF:Physique des plasmas
Connaissance des matériaux
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:1612-8850
info:doi/10.1002/ppap.201700030