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Integrated silicon nitride electro-optic modulators with atomic layer deposited overlays


par Hermans, Artur;Van Daele, Michiel;Dendooven, Jolien;Clemmen, Stéphane ;Detavernier, Christophe;Baets, Roel G. F.
Référence Optics Letters, 44, 5, page (1112-1115)
Publication Publié, 2018-12-17
Article révisé par les pairs
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