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SiOxNy thin films with variable refraction index: Microstructural, chemical and mechanical properties

par Godinho, Vanda ;Haro, María C Jiménez De M.C.J.d.;García-López, Javier Hugo J.;Goossens, Veerle;Delplancke, Marie-Paule ;Fernandez Fernandez, Alberto
Référence Applied surface science, 256, 14, page (4548-4553)
Publication Publié, 2010-05

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