SiOxNy thin films with variable refraction index: Microstructural, chemical and mechanical properties

Godinho, Vanda; Haro, María C Jiménez De M.C.J.d.; García-López, Javier Hugo J.; Goossens, Veerle; Delplancke, Marie-Paule; Fernandez Fernandez, Alberto

doi:doi/10.1016/j.apsusc.2010.02.045

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SiOxNy thin films with variable refraction index: Microstructural, chemical and mechanical properties

par Godinho, Vanda

;Haro, María C Jiménez De M.C.J.d.;García-López, Javier Hugo J.;Goossens, Veerle ;Delplancke, Marie-Paule

;Fernandez Fernandez, Alberto

Référence Applied surface science, 256, 14, page (4548-4553)
Publication Publié, 2010-05

Article révisé par les pairs

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