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Foil-to-Foil System Integration Through Capillary Self-Alignment Directed by Laser Patterning

par Arutinov, Gari;Mastrangeli, Massimo ;Smits, Edsger C. P.;Van Heck, Gert;Den Toonder, J.;Dietzel, Andreas
Référence Journal of microelectromechanical systems, 24, 1, page (126-133)
Publication Publié, 2015

Article révisé par les pairs

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