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Foil-to-Foil System Integration Through Capillary Self-Alignment Directed by Laser Patterning

par Arutinov, Gari;Mastrangeli, Massimo ;Smits, Edsger C. P.;Van Heck, Gert;Den Toonder, J.;Dietzel, Andreas
Référence Journal of microelectromechanical systems, 24, 1, page (126-133)
Publication Publié, 2015

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Titre:	Foil-to-Foil System Integration Through Capillary Self-Alignment Directed by Laser Patterning
Auteur:	Arutinov, Gari; Mastrangeli, Massimo; Smits, Edsger C. P.; Van Heck, Gert; Den Toonder, J.; Dietzel, Andreas
Informations sur la publication:	Journal of microelectromechanical systems, 24, 1, page (126-133)
Statut de publication:	Publié, 2015
Sujet CREF:	Automatisme industriel et processcontrol
	Assemblage
	Technologie de la construction mécanique
Mots-clés:	capillarity
	fluidics
	foil-to-foil integration
	self-alignment
	laser processing
Note générale:	SCOPUS: ar.j
	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1057-7157
	info:doi/10.1109/JMEMS.2014.2321013
	info:scp/84922352945