Liquid-filled sealed MEMS capsules fabricated by fluidic self-assembly

Mastrangeli, Massimo; Jacot-Descombes, Loic; Gullo, Maurizio R.; Brugger, Juergen

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Liquid-filled sealed MEMS capsules fabricated by fluidic self-assembly

par Mastrangeli, Massimo

;Jacot-Descombes, Loic ;Gullo, Maurizio R.;Brugger, Juergen
Référence MEMS 2014(26-30 January 2014: San Francisco (CA)), 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014), IEEE, page (56-59)
Publication Publié, 2014

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