par Mastrangeli, Massimo ;Jacot-Descombes, Loic;Gullo, Maurizio R.;Brugger, Juergen
Référence MEMS 2014(26-30 January 2014: San Francisco (CA)), 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014), IEEE, page (56-59)
Publication Publié, 2014
Publication dans des actes
Titre:
  • Liquid-filled sealed MEMS capsules fabricated by fluidic self-assembly
Auteur:Mastrangeli, Massimo; Jacot-Descombes, Loic; Gullo, Maurizio R.; Brugger, Juergen
Informations sur la publication:MEMS 2014(26-30 January 2014: San Francisco (CA)), 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014), IEEE, page (56-59)
Statut de publication:Publié, 2014
Sujet CREF:Physique appliquée des surfaces
Technologie de la production
Mots-clés:self-assembly
liquid encapsulation
sealing
microcapsules
MEMS
fluidics
Langue:Anglais