par Receveur, RAM;Marxer, Cornel;Duport, Francois 
;Woering, R;Larik, Vincent;de Rooij, N.F.
Référence Micro Electro Mechanical Systems, 17th IEEE International Conference on. (MEMS), page (854-856)
Publication Publié, 2004
;Woering, R;Larik, Vincent;de Rooij, N.F.Référence Micro Electro Mechanical Systems, 17th IEEE International Conference on. (MEMS), page (854-856)
Publication Publié, 2004
Publication dans des actes
| Titre: |
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| Auteur: | Receveur, RAM; Marxer, Cornel; Duport, Francois; Woering, R; Larik, Vincent; de Rooij, N.F. |
| Informations sur la publication: | Micro Electro Mechanical Systems, 17th IEEE International Conference on. (MEMS), page (854-856) |
| Statut de publication: | Publié, 2004 |
| Sujet CREF: | Circuits intégrés |
| Capteurs et périphériques | |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:isbn:0-7803-8265-X |
| info:doi/10.1109/MEMS.2004.1290721 | |
| http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber |
