Effects of hydrogen addition in nitrogen atmospheric pressure plasma on its optical and electrical properties and silicon-based deposits compositions

Debrabandere, Delphine; Vanden Eynde, Xavier; Reniers, François

doi:doi/10.1088/1742-6596/275/1/012011

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Effects of hydrogen addition in nitrogen atmospheric pressure plasma on its optical and electrical properties and silicon-based deposits compositions

par Debrabandere, Delphine

;Vanden Eynde, Xavier ;Reniers, François

Référence Journal of physics. Conference series (Online), 275, 012011
Publication Publié, 2011

Article révisé par les pairs

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