Effects of hydrogen addition in nitrogen atmospheric pressure plasma on its optical and electrical properties and silicon-based deposits compositions

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Référence Journal of physics. Conference series (Online), 275, 012011
Publication Publié, 2011

Article révisé par les pairs

Titre:	Effects of hydrogen addition in nitrogen atmospheric pressure plasma on its optical and electrical properties and silicon-based deposits compositions
Auteur:	Debrabandere, Delphine; Vanden Eynde, Xavier; Reniers, François
Informations sur la publication:	Journal of physics. Conference series (Online), 275, 012011
Statut de publication:	Publié, 2011
Sujet CREF:	Chimie
Note générale:	SCOPUS: cp.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1742-6596
	info:doi/10.1088/1742-6596/275/1/012011
	info:scp/79952745771

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