par Delplancke, Marie-Paule Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur; Vassileris, V.; Winand, René Liste de publications
Référence Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films, 13, 3, (page 110-1110)
Publication Publié, 1995
Article révisé par les pairs
Titre :
  • Structure and composition of hydrogenated TixCy thin films prepared by reactive sputtering
Auteur : Delplancke, Marie-Paule ; Vassileris, V. ; Winand, René
Informations sur la publication : Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films, 13, 3, (page 110-1110)
Statut de publication : Publié, 1995
Sujet CREF : Chimie des surfaces et des interfaces
Chimie des solides
Langue :
  • Français
Identificateurs : urn:issn:1553-1813