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Structure and composition of hydrogenated TixCy thin films prepared by reactive sputtering

par Delplancke, Marie-Paule ;Vassileris, V.;Winand, René
Référence Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films, 13, 3, page (110-1110)
Publication Publié, 1995

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• Détails

Titre:	Structure and composition of hydrogenated TixCy thin films prepared by reactive sputtering
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Vassileris, V.; Winand, René
Informations sur la publication:	Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films, 13, 3, page (110-1110)
Statut de publication:	Publié, 1995
Sujet CREF:	Chimie des surfaces et des interfaces
	Chimie des solides
Langue:	Français
Identificateurs:	urn:issn:1553-1813