Titre:
  • Method for depositing a fluorinated layer from a precursos monomer
Auteur:Reniers, François; Vandencasteele, Nicolas; Bury, O.
Statut de publication:Publié, 2011
Sujet CREF:Chimie des surfaces et des interfaces
Chimie analytique
Métallurgie
Langue:N/A
Identificateurs:US2011014395