Titre :
  • Method for depositing a fluorinated layer from a precursos monomer
Auteur : Reniers, François ; Vandencasteele, Nicolas ; Bury, O.
Statut de publication : Publié, 2011
Sujet CREF : Chimie des surfaces et des interfaces
Chimie analytique
Métallurgie
Langue :
Identificateurs : US2011014395