Method for depositing a fluorinated layer from a precursos monomer

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;Bury, O.
Publication Publié, 2011

Brevet

Titre:	Method for depositing a fluorinated layer from a precursos monomer
Auteur:	Reniers, François; Vandencasteele, Nicolas; Bury, O.
Statut de publication:	Publié, 2011
Sujet CREF:	Chimie des surfaces et des interfaces
	Chimie analytique
	Métallurgie
Langue:	Anglais
Identificateurs:	US2011014395

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