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Mechanical properties of cubic boron nitride thin films synthesized by ECR PECVD: Influence of deposition conditions

par Delplancke, Marie-Paule

Référence 46th National Symposium of the American Vacuum Society(octobre, 1999: Seattle, USA), Proceedings
Publication Publié, 1999

Publication dans des actes

Détails

Titre:	Mechanical properties of cubic boron nitride thin films synthesized by ECR PECVD: Influence of deposition conditions
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Ye, Min
Informations sur la publication:	46th National Symposium of the American Vacuum Society(octobre, 1999: Seattle, USA), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 1999
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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