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Study of CNx films deposited by ICP-CVD from N2/CCl4/H2 precursors

par Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule
Référence TMS Annual Meeting(28.02.1999 - 04.03.1999: San Diego, United States), Surface Engineering: Science and Technology I, page (395-403)
Publication Publié, 1999

Publication dans des actes

• Détails
• Contenu

Titre:	Study of CNx films deposited by ICP-CVD from N2/CCl4/H2 precursors
Auteur:	Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	TMS Annual Meeting(28.02.1999 - 04.03.1999: San Diego, United States), Surface Engineering: Science and Technology I, page (395-403)
Statut de publication:	Publié, 1999
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais