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Comparative characterization of nitrogen-rich CNx films prepared by different ICP-CVD techniques

par Popov, Cyril;Bulir, Jiri ;Zambov, Ludmil;Jelinek, Miroslav;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Journal de physique. IV, 11, 3, page (Pr3-731-738)
Publication Publié, 2001

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