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Comparative characterization of nitrogen-rich CNx films prepared by different ICP-CVD techniques

par Popov, Cyril;Bulir, Jiri ;Zambov, Ludmil;Jelinek, Miroslav;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Journal de physique. IV, 11, 3, page (Pr3-731-738)
Publication Publié, 2001

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Titre:	Comparative characterization of nitrogen-rich CNx films prepared by different ICP-CVD techniques
Auteur:	Popov, Cyril; Bulir, Jiri; Zambov, Ludmil; Jelinek, Miroslav; Delplancke, Marie-Paule; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication:	Journal de physique. IV, 11, 3, page (Pr3-731-738)
Statut de publication:	Publié, 2001
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	13th European Conference on Chemical Vapor Deposition (EUROCVD 13); Athens; Greece; 26 August 2001 through 31 August 2001.
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1155-4339
	info:doi/10.1051/jp4:2001392
	info:scp/0034850004
	VX-005856