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Depth resolved comparative investigation of phase formation and stress build-up in cubic boron nitride films

par Klett, A.;Freudenstein, Régine;Kulisch, Wilhelm;Ye, Min ;Delplancke, Marie-Paule
Référence Thin solid films, 398-399, page (279-284)
Publication Publié, 2001

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Titre:	Depth resolved comparative investigation of phase formation and stress build-up in cubic boron nitride films
Auteur:	Klett, A.; Freudenstein, Régine; Kulisch, Wilhelm; Ye, Min; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	Thin solid films, 398-399, page (279-284)
Statut de publication:	Publié, 2001
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Cubic boron nitride
	ECR-CVD
	Ion beam assisted deposition
	Stress
Note générale:	28th International Conference on Metallurgia; San Diego,CA; United States; 30 April 2001 through 30 May 2001.
	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0040-6090
	info:doi/10.1016/S0040-6090(01)01396-7
	info:scp/0035507007
	VX-005785