• Citer

Synthesis and characterization of thin films of WCx produced by mixing W and C plasma streams

par Monteiro, Othon Rego;Delplancke, Marie-Paule ;Lo, Roger Yu;Winand, René ;Brown, Ian
Référence Surface & coatings technology, 94-95, page (220-225)
Publication Publié, 1997-10

Article révisé par les pairs

• Accès en ligne
• Détails
• Contenu
• Statistiques

Titre:	Synthesis and characterization of thin films of WCx produced by mixing W and C plasma streams
Auteur:	Monteiro, Othon Rego; Delplancke, Marie-Paule; Lo, Roger Yu; Winand, René; Brown, Ian
Informations sur la publication:	Surface & coatings technology, 94-95, page (220-225)
Statut de publication:	Publié, 1997-10
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Diamondlike
	Metal plasma
	Plasma immersion
	Tungsten carbide
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0257-8972
	info:doi/10.1016/S0257-8972(97)00453-2
	info:scp/0031250074
	VX-005842