par Popov, Cyril;Plass, Martin;Zambov, Ludmil;Bulir, Jiri 
;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Surface & coatings technology, 125, 1-3, page (278-283)
Publication Publié, 2000-03
;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, WilhelmRéférence Surface & coatings technology, 125, 1-3, page (278-283)
Publication Publié, 2000-03
Article révisé par les pairs
| Titre: |
|
| Auteur: | Popov, Cyril; Plass, Martin; Zambov, Ludmil; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Kulisch, Wilhelm |
| Informations sur la publication: | Surface & coatings technology, 125, 1-3, page (278-283) |
| Statut de publication: | Publié, 2000-03 |
| Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
| Mots-clés: | Bonding structure |
| Carbon nitride | |
| Composition | |
| ICP-CVD | |
| Note générale: | SCOPUS: ar.j |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:0257-8972 |
| info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00573-3 | |
| info:scp/0033882384 | |
| VX-005850 |
