par Popov, Cyril;Plass, Martin;Zambov, Ludmil;Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Surface & coatings technology, 125, 1-3, page (278-283)
Publication Publié, 2000-03
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Physical properties of carbon nitride films synthesized using atomic transport reactions
Auteur:Popov, Cyril; Plass, Martin; Zambov, Ludmil; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication:Surface & coatings technology, 125, 1-3, page (278-283)
Statut de publication:Publié, 2000-03
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Bonding structure
Carbon nitride
Composition
ICP-CVD
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0257-8972
info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00573-3
info:scp/0033882384
VX-005850

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