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Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films

par Kulisch, Wilhelm;Popov, Cyril;Zambov, Ludmil;Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Lancok, Ján;Jelinek, Miroslav
Référence Thin solid films, 377-378, page (148-155)
Publication Publié, 2000-12

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