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Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films

par Kulisch, Wilhelm;Popov, Cyril;Zambov, Ludmil;Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Lancok, Ján;Jelinek, Miroslav
Référence Thin solid films, 377-378, page (148-155)
Publication Publié, 2000-12

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Titre:	Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur:	Kulisch, Wilhelm; Popov, Cyril; Zambov, Ludmil; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Lancok, Ján; Jelinek, Miroslav
Informations sur la publication:	Thin solid films, 377-378, page (148-155)
Statut de publication:	Publié, 2000-12
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0040-6090
	info:doi/10.1016/S0040-6090(00)01315-8
	info:scp/0034516522