par Kulisch, Wilhelm;Popov, Cyril;Zambov, Ludmil;Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Lancok, Ján;Jelinek, Miroslav
Référence Thin solid films, 377-378, page (148-155)
Publication Publié, 2000-12
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur:Kulisch, Wilhelm; Popov, Cyril; Zambov, Ludmil; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Lancok, Ján; Jelinek, Miroslav
Informations sur la publication:Thin solid films, 377-378, page (148-155)
Statut de publication:Publié, 2000-12
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0040-6090
info:doi/10.1016/S0040-6090(00)01315-8
info:scp/0034516522

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