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Preparation of nitrogen-rich CNx films with inductively coupled plasma CVD and pulsed laser deposition

par Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Lancok, Ján;Jelinek, Miroslav;Popov, Cyril;Klett, A.;Kulisch, Wilhelm
Référence Diamond and related materials, 10, 9-10, page (1901-1909)
Publication Publié, 2001-09

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