Preparation of nitrogen-rich CNx films with inductively coupled plasma CVD and pulsed laser deposition

;Lancok, Ján ;Jelinek, Miroslav ;Popov, Cyril ;Klett, A.;Kulisch, Wilhelm
Référence Diamond and related materials, 10, 9-10, page (1901-1909)
Publication Publié, 2001-09

Article révisé par les pairs

Titre:	Preparation of nitrogen-rich CNx films with inductively coupled plasma CVD and pulsed laser deposition
Auteur:	Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Lancok, Ján; Jelinek, Miroslav; Popov, Cyril; Klett, A.; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication:	Diamond and related materials, 10, 9-10, page (1901-1909)
Statut de publication:	Publié, 2001-09
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Carbon nitride films
	Inductively coupled plasma chemical vapor deposition
	Pulsed laser deposition
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0925-9635
	info:doi/10.1016/S0925-9635(01)00436-8
	info:scp/0035446909

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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