par Delplancke, Marie-Paule ;Monteiro, Othon Rego
Référence Diamond and related materials, 12, 12, page (2119-2127)
Publication Publié, 2003-12
Article révisé par les pairs
Titre:
  • In situ measurement of stresses in diamond-like carbon films
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Monteiro, Othon Rego
Informations sur la publication:Diamond and related materials, 12, 12, page (2119-2127)
Statut de publication:Publié, 2003-12
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Diamond-like carbon
Position sensitive detector
Stresses
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0925-9635
info:doi/10.1016/S0925-9635(03)00240-1
info:scp/0347382686

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