Titre:
  • Residual stress evolution by the ex-situ annealing of TiN thin films deposited on steel substrates
Auteur:Ye, Min; Berton, Guy; Delplancke, Jean-Luc; Delplancke, Marie-Paule; Segers, Luc; Winand, René; De Bruyne, Karolien
Informations sur la publication:Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Statut de publication:Publié, 1998
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:AFM
Annealing
Residual Stress
Surface Morphology
TiN Films
X-Ray Diffraction
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0255-5476
info:scp/11544271058