par Ye, Min
;Berton, Guy
;Delplancke, Jean-Luc
;Delplancke, Marie-Paule
;Segers, Luc
;Winand, René
;De Bruyne, Karolien
Référence Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Publication Publié, 1998






Référence Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Publication Publié, 1998
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Ye, Min; Berton, Guy; Delplancke, Jean-Luc; Delplancke, Marie-Paule; Segers, Luc; Winand, René; De Bruyne, Karolien |
Informations sur la publication: | Materials science forum, 287-288, page (275-280) |
Statut de publication: | Publié, 1998 |
Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
Mots-clés: | AFM |
Annealing | |
Residual Stress | |
Surface Morphology | |
TiN Films | |
X-Ray Diffraction | |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0255-5476 |
info:scp/11544271058 |