• Citer

Residual stress evolution by the ex-situ annealing of TiN thin films deposited on steel substrates

par Ye, Min ;Berton, Guy ;Delplancke, Jean-Luc ;Delplancke, Marie-Paule ;Segers, Luc ;Winand, René ;De Bruyne, Karolien
Référence Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Publication Publié, 1998

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• Détails

Titre:	Residual stress evolution by the ex-situ annealing of TiN thin films deposited on steel substrates
Auteur:	Ye, Min; Berton, Guy; Delplancke, Jean-Luc; Delplancke, Marie-Paule; Segers, Luc; Winand, René; De Bruyne, Karolien
Informations sur la publication:	Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Statut de publication:	Publié, 1998
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	AFM
	Annealing
	Residual Stress
	Surface Morphology
	TiN Films
	X-Ray Diffraction
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0255-5476
	info:scp/11544271058