par Ye, Min 
;Berton, Guy ;Delplancke, Jean-Luc ;Delplancke, Marie-Paule ;Segers, Luc ;Winand, René ;De Bruyne, Karolien
Référence Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Publication Publié, 1998
;Berton, Guy ;Delplancke, Jean-Luc ;Delplancke, Marie-Paule ;Segers, Luc ;Winand, René ;De Bruyne, KarolienRéférence Materials science forum, 287-288, page (275-280)
Publication Publié, 1998
Article révisé par les pairs
| Titre: |
|
| Auteur: | Ye, Min; Berton, Guy; Delplancke, Jean-Luc; Delplancke, Marie-Paule; Segers, Luc; Winand, René; De Bruyne, Karolien |
| Informations sur la publication: | Materials science forum, 287-288, page (275-280) |
| Statut de publication: | Publié, 1998 |
| Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
| Mots-clés: | AFM |
| Annealing | |
| Residual Stress | |
| Surface Morphology | |
| TiN Films | |
| X-Ray Diffraction | |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:0255-5476 |
| info:scp/11544271058 |
