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Similarity analysis for the high-pressure inductively coupled plasma source

par Van Den Abeele, D.;Degrez, Gérard
Référence Plasma sources science & technology, 13, page (680-690)
Publication Publié, 2004

Article révisé par les pairs

• Détails

Titre:	Similarity analysis for the high-pressure inductively coupled plasma source
Auteur:	Van Den Abeele, D.; Degrez, Gérard
Informations sur la publication:	Plasma sources science & technology, 13, page (680-690)
Statut de publication:	Publié, 2004
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0963-0252