Cost-performance optimisation of fine-pitch W2W bonding: functional system partitioning with heterogeneous FEOL/BEOL configurations

;Beyne, Eric ;Plas, Geert Van der ;Wang, Jane J.Z.W ;Debacker, Peter
Référence (2020-02-20: San Jose, USA), SPIE Advanced Lithography
Publication Publié, 2020-02-20

Publication dans des actes

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