Cost-performance optimisation of fine-pitch W2W bonding: functional system partitioning with heterogeneous FEOL/BEOL configurations

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;Beyne, Eric ;Plas, Geert Van der ;Wang, Jane J.Z.W ;Debacker, Peter
Référence (2020-02-20: San Jose, USA), SPIE Advanced Lithography
Publication Publié, 2020-02-20

Publication dans des actes

Titre:	Cost-performance optimisation of fine-pitch W2W bonding: functional system partitioning with heterogeneous FEOL/BEOL configurations
Auteur:	Milojevic, Dragomir; Beyne, Eric; Plas, Geert Van der; Wang, Jane J.Z.W; Debacker, Peter
Informations sur la publication:	(2020-02-20: San Jose, USA), SPIE Advanced Lithography
Statut de publication:	Publié, 2020-02-20
Sujet CREF:	Circuits intégrés
	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Français

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