Titre:
  • Cost-performance optimisation of fine-pitch W2W bonding: functional system partitioning with heterogeneous FEOL/BEOL configurations
Auteur:Milojevic, Dragomir; Beyne, Eric; Plas, Geert Van der; Wang, Jane J.Z.W; Debacker, Peter
Informations sur la publication:(2020-02-20: San Jose, USA), SPIE Advanced Lithography
Statut de publication:A Paraître, 2020
Sujet CREF:Circuits intégrés
Langue:Français