Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Nanostructured Gold Near Room Temperature

;Baets, Roel G.;Barry, Sean P ;Detavernier, Christophe ;Dendooven, Jolien
Référence ACS Applied Materials & Interfaces, 11, 40, page (37229-37238)
Publication Publié, 2019-09-16

Article révisé par les pairs

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