par Luca, Matti;Milojevic, Dragomir
;Debacker, Peter
Référence Journal of Micro/Nanolithography, M E M S, and M O E M S, 1932-5150
Publication Publié, 2018-12-01
;Debacker, PeterRéférence Journal of Micro/Nanolithography, M E M S, and M O E M S, 1932-5150
Publication Publié, 2018-12-01
Article révisé par les pairs
| Titre: |
|
| Auteur: | Luca, Matti; Milojevic, Dragomir; Debacker, Peter |
| Informations sur la publication: | Journal of Micro/Nanolithography, M E M S, and M O E M S, 1932-5150 |
| Statut de publication: | Publié, 2018-12-01 |
| Sujet CREF: | Technol. des composantes électroniques [microélectronique] |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:1932-5150 |



