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Size dependent fracture strength and cracking mechanisms in freestanding polycrystalline silicon films with nanoscale thickness

par Vayrette, Renaud;Galceran Mestres, Montserrat ;Coulombier, Michael;Godet, Stéphane ;Raskin, Jean-Pierre;Pardoen, Thomas
Référence Engineering fracture mechanics, 168, page (190-203)
Publication Publié, 2016-12

Article révisé par les pairs

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