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Cavity Ring Down and Vacuum UV Spectroscopy - Applications for radical absolute density measurements in plasma

par Veis, Pavel V.P.;Macko, Peter ;Jašík, Juraj
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 6609, 660905
Publication Publié, 2007

Article révisé par les pairs

• Détails
• Contenu

Titre:	Cavity Ring Down and Vacuum UV Spectroscopy - Applications for radical absolute density measurements in plasma
Auteur:	Veis, Pavel V.P.; Macko, Peter; Jašík, Juraj
Informations sur la publication:	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 6609, 660905
Statut de publication:	Publié, 2007
Sujet CREF:	Informatique appliquée logiciel
	Mathématiques
	Electronique et électrotechnique
	Métallurgie
	Physique de l'état solide
	Physique de l'état condense [supraconducteur]
	Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
	Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Mots-clés:	Actinometry
	Cavity ring-down spectroscopy
	Dissociative degree
	Emission spectroscopy
	Laser absorption spectroscopy
	Nitrogen
	Oxygen
	Radiofrequency discharge
	Recombination of atoms
	Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy
Note générale:	SCOPUS: cp.p
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0277-786X
	info:doi/10.1117/12.739366
	info:scp/36248995148