Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators

Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco

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Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators

par Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Paci, Dario ;Pieri, Francesco
Référence MSED 2005(4-5 July 2005: Pisa (IT)), Modeling and Simulation of Electronic Devices
Publication Publié, 2005

Abstract de conférence

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